射频等离子体-赛奥特（北京）科技有限公司

产品简介

我公司以“赛奥特”（SAT）为*的射频（RF）等离子清洗机系列产品：C系列、D系列等离子清洗机在科学研究各方面已经取得了广泛的运用，涉及光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域,主要用于以下实验：材料清洁和活化、灰化表面有机层有机物去除、键合、改变亲水性/疏水性、金属还原、表面刻蚀、材料老化实验、去胶、等离子涂镀聚合等各方面。

详细介绍

射频等离子体

技术特点：

1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用、防腐容易清洁。

2.仪器实现了手动，自动两种模式任意切换的工作方式，方便用户实验

3.仪器实现了程序化设计，预先编辑好程序，仪器可以自动完成实验

4.无需任何耗材使用成本低，无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可

5.电容式等离子激发，处理效果均匀，激发电极板内置样品仓内顶部悬挂

6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染

7.40Khz射频电源,自主研发质量稳定可靠，具有自动保护功能。

8.灵活的参数设置和修改功能，可适应多种处理工艺。

9.采用皮拉尼真空技术，实时检测和显示样品仓的真实真空度，具有1Pa的真空分辨率，能够方便的接入MFC气体流量控制仪，实现对气体流量和真空度的精准控制和监测。

10. LED+金属按键控制方式，操作方便稳定可靠。

射频射频等离子体技术规格参数

型号：YZD08-2C	品牌：赛奥特（SAT）
不锈钢/石英舱体	Φ100 mm×L255mm
工作气路	壹路，可以选配MFC控制
射频频率	40KHz
射频功率	0-200W可调
控制系统	按钮+单排LED显示，实时显示和检测舱内真空度值
时间范围	0—99分59秒连续可调
工作压力	样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节
工作气体	空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可
进气压力	空气：常压连接气体钢瓶：0.1-0.3Mpa
工作模式	手动模式和程序化自动模式
真空泵	抽速：1升到5升每秒
输入电源	~220V／50Hz
整机尺寸（DWH）	520X460X253mm
重量（约）	20Kg

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