SAT-5D粉末/粉体/颗粒等离子处理仪主要应用：1.表面清洁 2.表面活化 3.键合 4.去胶 5.金属还原 6.简单刻蚀 7.去除表面有机物 8.疏水实验 9.镀膜前处理等
SAT-5D粉末/粉体/颗粒等离子处理仪主要特点：
1.实时检测和显示真空度，真空度准确使得机器在智能控制下有了可靠的依据
2.自动模式下，真空启动值可以自由设定，(范围：20—80帕)，这样就为外加气体提供了可靠的辉光启动环境，使得辉光保持100%纯度，有力的保证了实验效果的准确性和可靠性.
3.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用防低腐蚀
4.采用电容式 Plasma激发，实验效果稳定，均匀可靠
5.采用薄膜按键+液晶屏显示控制，手动，自动两种模式任意切换
6.程序化设计，预先编辑好程序，仪器自动完成实验
7.无需任何耗材，使用成本低，无需特殊进行维护，在日常使用中保持仪器清洁即可，真空环境下完成实验避免二次污染
技术规格：
1、舱体尺寸： 230X150(直径)mm ，材质：不锈钢
2、内置转鼓,载物装置方形石英瓶尺寸：110*60毫米,建议装料1/5到1/4比较合适
3、转鼓转速设置六档可调(单位：转/分)：1档位：2.5 2档位：5
3档位：7.5 4档位：10 5档位：12.5 6档位：15
4、频率：13.56MHz 频率偏移量<0.2MHz 电源220V/50Hz
5、射频功率:150W，10到150W无极可调，精度：1瓦
6、气路设置：三气路(两路进气，一路放空)，可以选配内置MFC控制,
气体稳定时间：1分钟
基本配置：
主机 + 真空系统(真空泵 油雾过滤器 真空管 法兰) + 外加气体软管 样品托盘 + 说明书 + 电源线 + 合格证
