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YAMADA山田光学YP-150I YP-250I卤素灯光源 |
宏観観察用的照明设备,可検测各种缺陥如半导体晶片及液晶基板制品表面的异物、刮痕、抛光不均、雾状、划伤等。 |
产 品 简 介 |
YP-150I对应检查6寸半导体晶片 |
YP-150I照度范围φ30 |
YP-250I可对应检查8英寸半导体晶片 |
YP-250I照度范围φ60 |
YP-250I卤素灯通风机可选择螺旋式风扇或者管道通风型 |
根据具体要求可以选择黄光和白光两种光源 |
可检测各种缺陷 如硅片 砷化镓 碳化硅等半导体晶片及液晶基板表面的异物/划痕 /抛光不均 / |
雾状/ 划伤等 ,照度在400000Lx以上 |
产 品 特 点 |
1. 大于 400,000luxes的照明光线可容易检测出只有精密探测仪才可测出的瑕疵。(照射面积为 30mmdia). |
2. 使用卤素灯作为光源,色温高达3400K,照光和颜色均一了稳定强光的照射。 |
3. 由于冷镜的使用,使得热影响与常规铝镜相比较少1/2 到 1/3 |
4. 光束直径由镜片调整30-50mm 之间调整 |
5. 底部开光,调整照明勘察器高度,操作简便,可控制光量 |
产 品 用 途 |
YP-150I 高亮度卤素射镜用于Si薄片,玻璃表面的瑕疵检查的照明光源,微小瑕疵也可被检测出来 |
规 格 书 |