德国APT匀胶旋涂仪POLOS系列

Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS系列

德国POLOS系列匀胶旋涂仪提供了*、可重复的工艺流程控制方案.

一个高效的空气动力学腔体确保旋涂的高度均匀性，天然聚丙烯

（NPP）或聚四氟⼄乙烯（PTFE）材质，整机无⾦金属裸露，无交叉污染，

易清洗维护，为用户带来全新的操作体验.

操作控制器可拆卸，全尺寸的触摸屏，可戴手套操作，耐化学性。

系统参数表

SPIN150i SPIN200i

程序段数：无限制无限制

操作步数：无限制无限制

旋转速度：0-12,000 rpm ±1rpm steps  0-12,000 rpm ±1rpm steps

旋转精度：± 0.1 rpm  ± 0.1 rpm  

旋转方向：顺时针、逆时针、交换摆动  顺时针、逆时针、交换摆动  

最大加速度：30,000 rpm/sec30,000 rpm/sec

旋转时间：无限制*, ± 0.1 seconds steps无限制*, ± 0.1 seconds steps

基片范围：160mm 直径or 4ʺ″ ⽅片  260 mm 直径or 6ʺ″ ⽅片

腔体直径：202 mm302 mm

外形尺寸：274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm

匀胶旋涂仪SPIN PROCESSOR

1、运行条件

外壳材质：天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（PTFE）

腔体材质：天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（PTFE）

外部连接：通过USB连接；

输入电压：200-240VAC、50/60 ；

功率消耗：最⼤大500w

最大电流：2,5A

真空吸附：-65kPa(-19inchHg),≥80lpm，Tube OD Ø8mm

马达保护：20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm（可关闭）

排废连接：1” M-NPT

2、清晰可见的工艺处理过程

可拆卸，与主机分离的多功能控制器

每⼀步运⾏行的实时参数，看得⻅用户常为在工艺处理过程中不能⾃自由调节交互

处理⽽而苦恼。

全彩触摸屏界⾯面，所见即所得

操作安全，相当重要

坚固的带有铰链的防护盖板，具有良好的操作⾓角度及电磁阀安全锁定。

在程序结束直到速度达到0 rpm或在断电情况下才可以开启

保证盖板上残留的化学物质安全地进⾏行系统排放

钢化玻璃盖不会起雾或刮伤，保持清晰，便于看到你的实验过程

过程控制和结果分析

为了提高工艺处理的可重复性，实时记录下每⼀次⼯艺过程的实际运⾏行数据，并可存储重复调用,达到近乎一致的可重复性

良好的密封保护电机和控制电⼦子产品免受的化学污染

3、可选配件

1)腔体内衬

衬垫为PET材质，0.5mm厚，透明，防静电（108 - 1010Ω）防⽌止室中的静电荷堆积

2)自动滴胶控制单元

可快速便捷地安装在注射器⽀支架上，并将其连接到3个可编程中的⼀个

3)注射器套件

注射器量筒、针头和活塞

4)中央式注射器夹

⽤用于单或三针注射器

5)脚踏开关

⽤用脚控制；控制程序和真空的启动/停⽌止

6）中心对准⼯工具

易⽤用的对准⼯工具，可根据不同⼤大⼩小可调节

SPIN150i-NPP 

SPIN200i-NPP 

德国APT匀胶旋涂仪POLOS系列