AFM FFAF030 流量计

BRR是扫描电子显微镜和原子力显微镜的统一。
它结合了两个方面的特性，而不会影响两个组件的性能。此外，新系统比单个系统具有更多优势。我们实现组合式SEM-SPM系统的方法是基于将兼容真空的SPM集成到现有SEM系统中。选择该组合以达到系统的性能和可用性。该策略的另一个好处是可以将现有的SEM系统升级为SEM-SPM组合系统。在这两种情况下，SEM的功能均不受限制，因此可以进行SEM / SPM组合测量

AFM FFAF030 流量计

DME建立的该系统是 MERLIN电子显微镜和AURIGA Crossbeam工作站的SEM-AFM集成 。也可以随时对现有系统进行改造。该系统通过将DME开发的SPM集成到蔡司AURIGA系统中来实现。在该系统中，将SEM，FIB和SPM结合在一起并可以在组合测量中执行​​。SPM安装在特别设计的平台上，该平台可进行垂直和旋转运动。该阶段是AFM主门的一部分（请参见左图）。在此设置中，SPM可以与FIB电子束交叉点对齐，并绕其旋转大约75°的角度。这使操作员可以将电子束或FIB垂直于样品表面对齐。整个SPM的旋转开辟了使用市售Si和SiN SPM探针的可能性，因为可以从侧面角度用SEM观察（参见右图）。借助SEM的自由视野，可以将SPM定位到在SEM下以nm精度进行整体观察的目标区域。从垂直于样品的观察位置来看，SPM上的观察被悬臂本身遮挡了。可以将SPM定位到在SEM进行整体观察的情况下感兴趣的区域。

好用的流量计在这里 BREMAS VXCR0250007GT6 工控凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 BEP 2380-RPP-GOLD14M-40 
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI PS21L-MS11LG-H00 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 CONTRINEX 320-520-040 DW-AS-604-M8-001
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI PS21L-BT11RM-M00 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 EUROTEK ET/RF 3130-FTF 备件
好用的流量计在这里 kistler 6157BA 压力传感器
好用的流量计在这里 Rexroth A4VSO250EO2/30R-VPB13N00-SO2 
好用的流量计在这里 ATOS DKZOR-AES-PS-171-L5/I 油压传动阀
好用的流量计在这里 Turck SKP3-1-SSP3/S90 Nr:8008683 电缆
好用的流量计在这里 Eltako FGW14 可编程控制器
好用的流量计在这里 Hawe AC40-1/4-250 油压传动阀
好用的流量计在这里 weidmueller 1964290150 电缆
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI PS21L-NT11W2-M00 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 Kraus & Naimer PC74718 
好用的流量计在这里 CEJN 103105063 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 Male PI4208PSVST25V2A/K197 783.710.7 滤芯
好用的流量计在这里 E-T-A 3120-F321-P7T1-WO2A 6A AC240V DC50V 自动控制器
好用的流量计在这里 CONTRINEX 620-000-573 LTK-4150-104
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI SPPC15501 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 HAHN+KOLB 75534010 工业型干湿吸尘器
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI SV260724 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI CTD5S1505AXXX 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 CONTRINEX 320-520-577 DW-AV-513-M8-276
好用的流量计在这里 NORELEM NLM 07111-10610 备件
好用的流量计在这里 GUTEKUNST D-085D 弹簧
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI PS21K-BT02RT-T00 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI PS31L-PT30RT-T00 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI PS43L-PT02LB-M00 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 CONTRINEX 620-100-314 LLS-5050-000
好用的流量计在这里 Phoenix SACB-8/ 8-L- 5,0PUR     Nr.1695168 总线模块
好用的流量计在这里 PILZ PSEN2.1P-10 512110 备件
好用的流量计在这里 MEGATRON Elektronik AG & Co XKZA15 4K7-TC+ 电位计
好用的流量计在这里 MAGNEMAG MM0531 冲印螺母
好用的流量计在这里 WERNER 4030-5000-434 打号机控制器
好用的流量计在这里 CEJN 102915131 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI FUR-FARR25-20 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 ROFIN-LASAGLASERS 330771 电源3
好用的流量计在这里 CONTRINEX 605-000-692 CSS-1181-213
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI FKA03A12853 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 SCHMALZ 10.01.06.03737 备件
好用的流量计在这里 CALPEDA 61110311000 工控凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 KTR GR-75(161/81/30) 
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI ICS05S23F15A2NO 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI PS21L-MT20W0-M00 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 FLUID-TEAM MDFVA-06-SCCA-LWN 油压传动阀
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI CONB15NF-S2 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 BREMAS VXE40000II 工控凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI PMT20I 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI PS31L-NT11P0-T00 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 MTS RHM0450MD701S2G2101 传感器
好用的流量计在这里 FUNKE+HUSTER EV21  230V 50HZ/60HZ 105DB IP54  30MA 报警器
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI PS42L-MO11BM-M00 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 CONTRINEX 320-520-745 DW-AS-50A-P12
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI AMB30-S 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 Phonix Contact  2961192 REL-MR- 24DC/21-21 
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI RGS1A60D92KKE 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 Bürklin 52 F 1152 插座
好用的流量计在这里 CONTRINEX 220-820-831 DW-DS-615-M8
好用的流量计在这里 CEJN 199402120 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 Turck WAK4-10/P00 Nr:8007060 电缆
好用的流量计在这里 Mayr 120/899.012.11 电磁制动器
好用的流量计在这里 engler M60.1.B4.195.01.01.1.70O 液位传感器
好用的流量计在这里 BERNSTEIN 6062220019 F2-U2ZD/U2ZD Interruttore a pedale
好用的流量计在这里 ODU 611.021.011.600.000 插头铝框
好用的流量计在这里 HYDAC EDS346-3-400-000 开关
好用的流量计在这里 LIMAN B-059-01-003-09  A-672-17-002-03  K-800-00-697 静电喷漆设备零件
好用的流量计在这里 CONTRINEX 320-820-640 DW-AD-613-M12-126
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI FUDC8A1KVPV 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI PS21S-NT0205-T00 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 hydac 0850  R 003 BN4HC 滤芯
好用的流量计在这里 LABOM GMBH Order Code CE6120-A1058-K1010-T110-H1  0-10bar 24VDC 压力传感器
好用的流量计在这里 SCHUNK 308640 机械手
好用的流量计在这里 Goetze 76.90 H-60 NB60 11000104 机械密封
好用的流量计在这里 ITW A12071-00 飞溅盘组件
好用的流量计在这里 CONTRINEX 220-820-891 DW-AS-628-M18-069
好用的流量计在这里 parker PGP517A0140CT1D7NL3L2B1B1 3339111503 齿轮泵
好用的流量计在这里 CARLO GAVAZZI PS21L-NT11PR-M00 凯盛源供应备件
好用的流量计在这里 CONTRINEX 320-620-041 DW-AS-602-065
 

• 基于DME UHV AFM和卡尔·蔡司AURIGA®横梁工作站。
• SEM和FIB的交叉点位于悬臂。样品扫描仪的设计允许在空间和样品上*相同的点对所有三种技术进行组合测量。
• 极其稳定的扫描单元，专为三维单原子分辨率而设计
• 扫描仪规格：扫描范围（x，y，z）10 µm x 10 µm x 1 µm，在所有三个维度上的真实分辨率亚原子
• SEM和AFM组件的单一软件界面
• AFM和SEM图像的通用数据存储
• SEM视角从0°到85°，同时保持小SEM工作距离为5 mm
• FIB可以在0°和54°的位置达到悬臂和样品，并通过FIB进行原位锐化
• 通过用户可更换的SEM门，支持在AFM和标准Auriga®功能之间轻松切换
• 通过使用所有标准AFM悬臂实现无限功能，无需有源探头
• 支持所有常见的AFM操作模式
• 悬臂更换时自动进行激光/探测器对准
• 通过简单的门更换就可以将现有的Auriga®SEM更新为BRR功能