MCK-66RC-大平台半导体检查显微镜（芯片/晶圆）_金相显微镜-上海蔡康光学仪器有限公司手机版

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大平台半导体检查显微镜（芯片/晶圆）MCK-66RC

蔡康MCK-66RC系列为最新大平台半导体检查显微镜，专为芯片/晶圆/LCD行业/ 粒子爆破检查,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美,MCK-66RC系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术，多层宽带镀膜技术，采用长寿命LED光源多种高度功能化的附件，能满足各种检验需要，可用于明场、暗场、简易偏光、微分干涉观察。

■ 所有光学部件均经过特殊处理并镀有特殊膜层

■ 6英寸大平台半导体检查显微镜，其微分干涉效果可与进口品牌相媲美

■ 6英寸大平台半导体检查显微镜机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术，多层宽带镀膜技术。

■ 各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像

■ 多种高度功能化的附件，能满足半导体检查各种场景需要。

6英寸半导体检查显微镜技术规格表:

型号	配置	MCK-66RC-1D	MCK-66RC-2D
光学系统	无限远色差校正光学系统	●	●
光学放大倍数	50倍-500倍(可选500/1000倍)	●	●
数码放大倍数	150倍-1500倍（21.5寸显示器）	●	●
工业相机	2000万1寸彩色索尼工业芯片（可选630万）	●	●
观察筒	正像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比双目:三目=100：0	○	●
观察筒	反像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比双目:三目=100：0	●	○
目镜	高眼点大视野目镜SWH10X-H/23mm，视度可调	●	○
目镜	高眼点大视野目镜SWH10X-H/25mm，视度可调	○	●
物镜	无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜5X NA0.15 WD14.8mm	●	●
	无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜10X NA0.30 WD8.5mm	●	●
	无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜20X NA0.45 WD11.9mm	●	●
	无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜50X NA0.75 WD3.0mm	●	●
	无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜100X NA0.80 WD3.0mm	○	○
	无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜100X NA0.90 WD1.0mm	○	○
物镜转换器	5孔明暗场手动物镜转换器（带DIC插槽）.	●	●
物镜转换器	5孔明暗场电动物镜转换器（电动/带DIC插槽）.	○	○
机架上光源	反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统，采用数字调光，具有光强设定与复位功能	●	●
载物台	6英寸平台，平台面积 450*240mm，移动行程：158mmX158mm机械平台，X、Y方向同轴调节；含快速移动装置	●	●
聚光镜	摇出式消色差聚光镜（N.A.0.9）	●	●
干涉片	诺曼尔斯基微分干涉片	○	○
反射照明器	明暗场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心可调，带滤色片插槽，带起偏镜/检偏镜插槽，	●	●
灯室	10W可调LED灯室，透、反射通用，预定中心	●	●
摄像接口	摄影摄像附件：0.65X，C型接口，可调焦（可选0.5X/1X）	●	●
偏光组件	起偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板	●	●
电脑	品牌电脑和显示器	●	●
测量软件	测量软件，软件控制电动物镜转盘，拍照，录像，测量，实时图像拼接，景深融合	●	●
标尺	高精度型测微尺，格值0.01mm	●	●

注：●为标准配置， ○ 为可选购件；

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