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傅利叶变换红外光谱分析仪
是以傅利叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控,气体纯度和组成分析,环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。光谱分析仪能分析含有高达40%水的气流,能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱,故省出了气体筒的成本。另外,操作者也会发现红外光谱分析仪操作简便,易于维护。
傅利叶变换红外光谱分析仪
由保护的2102傅利叶变换红外制成分光计, 高光通量取样单元,专业分析软件及独立的定量光谱库组成。收集高分辨率的红外光谱与定量光谱库分析,提供绝大多数气体及水蒸气的高精度,高灵敏度测量。
特点和优点:
⚫ 10ppb-100%灵敏度对于绝大多数有毒有害气体
⚫ 易于移动从一处移到另一处,设置仅需几分钟
⚫ 同时分析和显示多达30种气体
⚫ 分析仪储存了校准光谱,省去了气体筒的成本
⚫ 取样气体在进入分析室前加热并维持恒定温度
⚫ 保护的线性检测器,确保所有分析仪维持在相同的校准条件下
⚫ 频率和分辨率诊断,确保校准恒定
⚫ 提供自动温度和压力补偿以确保分析精度
⚫ 用户操作简便软件界面,稍加培训即可操作
应用:
⚫ 烟囱监测器
⚫ 工艺监测改进和优化
⚫ 空气环境分析
⚫ 气体纯度分析
⚫ 燃烧排放监测
⚫ 选择性硅整流催化还原性能监测
检测极限:
5.11米气室,MCT检测器在0.5cm-1分辨率下,下列典型气体检测数据为:
名称 | 分子式 | 20/20Ô气室,5min检测时间下的检测值 | 20/20Ô气室,1s检测时间下的检测值 |
氨气 | NH3 | 30ppb | 0.5ppm |
二氧化碳 | CO2 | 12ppb | 0.2ppm |
一氧化碳 | CO | 72ppb | 1.2ppm |
甲醛 | H2CO | 36ppb | 0.6ppm |
氯化氢 | HCl | 87ppb | 1.5ppm |
甲烷 | CH4 | 36ppb | 0.6ppm |
二氧化氮 | NO2 | 24ppb | 0.4ppm |
氧化氮 | NO | 210ppb | 3.6ppm |
氧化二氮 | N2O | 30ppb | 0.5ppm |
四氟化硅 | SiF4 | 10ppb | 0.15ppm |
二氧化硫 | SO2 | 36ppb | 0.6ppm |
四氟化碳 | CF4 | 2.5ppb | 40ppb |
二甲苯磺 | C8H10 | 60ppb | 1.0ppm |