THERMOVAC TTR91N真空计

Werne+Thiel FS1-30-G80-X-K-I4/1

KNF PJ14896.86

tecumseh CAE4440Y Tecumseh AE 4440Y-FZ1A-DCAE

HS-COOLER KS25-BCV-421  L2400

drei bond    F9-3   4.220.02.1023.030 离心盘

HONSBERG CM2K-025HM-SR  Honsberg  943762   CM2K-025HM

stanhope-seta Shell Capsules (pack of 160) Part Number 86500-001

SARASIN-RSBD 9BX4HFFU5    1.52MPA

SARASIN-RSBD 9BX4HFFU5    1.0MPA

SARASIN-RSBD 9BX4HFFU5    1.68MPA

SARASIN-RSBD 9BX4HFFU5     0.57MPA

MILS  3.56832+3.56833+3.56834 泵的型号EVISA  E100 HV

ABB AC-2 FZ5103 48/450

Atlas Copco LBB  36 H026-U  A3383289 only drilling part needed, no connector required and part mentioned in photo not needed / Atlas Copco LBB 36 H026U PNEUMATIC DRILL

Jakob Antriebstechnik IHE 100 nr：04011286/12032043 编码器Jakob IHE 100 Art.-Nr. 040 - 11286

M+C TechGroup Germany F-2GF 90F0011X

TUENKERS PKS16.1A00T03105Grad 夹钳气缸 

abb 90P1007 Tube Set for peristaltic pump SR25 

按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。

利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

波尔登规

波尔登规

如右图所示，细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得指针指示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。

这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。

薄膜电容规

薄膜电容规

如右图所示，在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。

这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

这种规的优点是灵敏度很高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用，以消除温度不同对膜片力学性能的影响，使用前一般需要预热数小时。

皮拉尼电阻规

皮拉尼电阻规

也叫做热电阻真空计，它是利用电阻与温度之间关系的原理工作的。

如右图所示，由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电流时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。

THERMOVAC TTR91N真空计