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HANBELL汉钟PS1802真空泵维修
汉钟PS干式无油真空泵机组,广泛应用于
·面板TFT-LCD,Touch Panel
·太阳能Solar
·冶金系统Metallurgical System
·镀膜Coating
·电浆制程Plasma processes
·干燥处理Drying Process
·制程气体抽取Degassing
·生技/制药Biotech/Pharmaceutical
·化工产业Chemical Industry
主要特点:
排气路径短,减少反应物沉积
干式螺旋真空泵相较于其他形式的真空泵,因气体于泵浦内的传输路径最短,最不易产生反应物沉积的现象。
线形密封性佳,泵浦性能
转子密封线形,转子密封性佳,转子能以较大的咽合间隙达到更快的抽气效果,由于咽合间隙较大,泵浦较不易因制程气体沉积而卡死,转子也较不易因磨耗而需更换。
结构简单,故障率低,维修容易
螺旋式真空泵因只需利用一对转子互相咽合达到密封效果,结构上不像其他形式的真空泵需要有中间隔板的设计,降低转子与隔板沉积卡死的风险。且因其结构单纯,拆解维修也较容易,因此能缩短维修时程,降低维修费用。
微电脑操作,远端监控,保护周全
微电脑操控器提供真空泵浦最简易的操作方式并能显示泵浦完整的运转状态,方便使用者对泵浦应用状况进行调整,在泵浦产生问题前进行预防保养,远端监控系统能提供使用者方便的监控工具,使用者不需到现场即能查询泵浦之运转状况