主要特点：

  排气路径短，减少反应物沉积

干式螺旋真空泵相较于其他形式的真空泵，因气体于泵浦内的传输路径短，不易产生反应物沉积的现象。

  线形密封性佳，泵浦性能优

转子密封线形，转子密封性佳，转子能以较大的咽合间隙达到更快的抽气效果，由于咽合间隙较大，泵浦较不易因制程气体沉积而卡死，转子也较不易因磨耗而需更换。

高压段抽速快,运转功率低,噪音低。

可依制程/环境需求选用水冷(防爆)或气冷(防爆)马达。气冷马达机型可搭配自循环冷却系统,能使用在无冷却水系统的环境。

  结构简单，故障率低，维修容易

螺旋式真空泵因只需利用一对转子互相咽合达到密封效果，结构上不像其他形式的真空泵需要有中间隔板的设计，降低转子与隔板沉积卡死的风险。且因其结构单纯，拆解维修也较容易，因此能缩短维修时程，降低维修费用。

  微电脑操作，远端监控，保护周全

微电脑操控器提供真空泵浦简易的操作方式并能显示泵浦完整的运转状态，方便使用者对泵浦应用状况进行调整，在泵浦产生问题前进行预防保养,远端监控系统能提供使用者方便的监控工具，使用者不需到现场即能查询泵浦之运转状况。