部件优点：

（1）设计*，功能齐全，结构合理，自动控制。
（2）压缩系统：采用SF6无油封闭高压压缩机，无泄漏。
（3）抽真空系统采用双级旋片式真空泵，在系统中设有自动防止返回油装置。
（4）过滤器采用电加热及内装高效吸附剂，提纯净化效果更显著，能高效去除空气CF4等 (无需频繁更换吸附剂)。
（5）装置电气系统三相电源自动确认、断相自动保护。
（6）装置控制系统采用新技术的SF6阀门
（7）贮存系统按用户要求配置250KG贮液罐。

性能指标：

1、装置极限真空度<10Pa

2、装置抽真空速率55--110m3/h (真空泵极限真空度小于0.06Pa)

3、装置充气初压力<133 Pa(用户要求自定)
4、装置充气终压力≤0.8M Pa
5、装置充气速率>20m3/h
6、装置回收初压力≤0.8M Pa
7、装置回收终压力<5000Pa
8、装置回收压缩机速率20m3/h
9、装置年泄漏率<1%
10、装置贮罐设计压力4.5M Pa
11、贮罐容积250KG（含 充气加热/ 液位显示）
12、外形尺寸约1850mm×1200mm×1700mm
13、贮存方式：液态、气态
14、噪声≤75dB声压级
15、干燥过滤器再生方式：真空再生加热活化处理
16、电源：交流三相380V±10%、50HZ
17、装置总功率<16KW
18、SF6气体抽真空回收装置供应商装置重量：1180公斤
19、SF6气体抽真空回收装置供应商净化：微水10PPm，油份5PPm，微尘≤1微米