北斗中频发生器BDS-MF Generator BDiscom

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BDS-MF 5 - 10 - 15 kW @ 40kHz，高|低电压交流等离子体发生器

BDS-MF 是一款 40 kHz 等离子体发生器，最大功率为 5、10 或 15 kW，专为 PECVD 或等离子体清洁应用中的等离子体激发而设计。该装置能够在 7000V RMS 输出下提供高达 10kW 的功率。

输出为平衡型，可驱动2个对称电极。典型应用是大型工艺室的 PE-CVD 工艺。一个*的功能是内置 2 个（标准）或 3 个（根据要求）变压器抽头的高压匹配变压器可用作阻抗匹配。

用户只需将两根同轴电缆连接到电极上。与用户 PLC 的接口可以是模拟或数字 RS232 或 Profibus（根据要求）。

亮点和好处：

内置输出匹配变压器，无需外接盒。

风冷机组。没有与潮湿或漏水相关的风险。

全功率，环境温度高达 40C°。

模拟接口。

可根据要求提供 Profibus 接口。

前面板显示屏使安装和故障排除更容易。

高效率>90%。

结构紧凑轻便，仅重 20kg，4UI。

直流等离子发生器

我们处理来自 TRUMPF Hüttinger 的直流发电机和直流脉冲等离子体励磁发电机。在直流等离子体激发方面，直流发电机是经典之作。如今，直流发生器作为低成本进入等离子体激发技术的一个例子，被用于许多应用中。直流脉冲等离子体激励非常适用于多种反应过程。与简单的直流发电机相比，脉冲直流电能够处理半导电材料和非导电材料，例如氧化物。

特征

无缺陷表面和高镀膜速率——即使在非常苛刻的直流溅射工艺中也是如此。

集成水冷或风冷变体

紧凑的设计

应用

使用直流磁控溅射的功能涂层可提高表面硬度和静摩擦力

涂层表面具有更好的热稳定性和化学稳定性

用于各种材料的纸薄金属层涂层的金属化工艺，以获得光学或电学性能

光伏电池、触摸屏等中的导电材料 (TCO) 涂层。

建筑玻璃溅射镀膜