德国BDiscom发生器BDiscom有源前面板系列

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德国BDiscom发生器BDiscom有源前面板系列

BDS SP 500 直流溅射电源

用于直流溅射工艺的 Bdiscom 电源。500 瓦 FS

具有快速电弧检测 (< 200 nSec) 和数字接口的价格竞争力的直流电源。适用于中小型研发和工业溅射工具。

用于溅射工艺的 Bdiscom 直流电源。

高效率、高可靠性和市场上*吸引力的价格。

北斗中频发生器

适用于任何高/低压（3kV 至 7kV）PECVD 和 PVD 工艺的最新且*价格竞争力的中频发生器

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BDS-ARC发生器

高性能发生器，适用于高效率 (> 90 %) 的大电流 CAE 过程

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BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列

新一代格竞争力和高效率的 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 黑匣子射频发生器

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BDS HF 200 - 300 - 400 - 750 有源前面板系列

新一代价格竞争力和高效率的 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 有源面板射频发生器

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BDS AMN 750 射频自动匹配网络

BDS AMN 750 射频自动匹配网络

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等离子矩阵和超级等离子矩阵

价格竞争力的台式 RF 13.56 MHz 等离子体反应器系统系列，适用于研发或小型工业试生产中的大部分清洁/蚀刻工艺（从 2.5 到 40 升 SS 304 真空室）

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北斗VIMM

BDS VIMM - 可变电感手动匹配单元 - 是目前市场上的 RF 13.56 MHz 电感手动匹配网络，具有以下规格中描述的一些*功能。

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BDS GLOW 3000/6000 发电机

用于辉光放电过程的带有 AFP（触摸屏有源前面板）的新型高压直流发生器

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BDS SP 500 直流溅射电源

BDS SP 500 直流溅射电源

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BDS SP 3、6 和 12 溅射电源

BDS SP 3、6 和 12 溅射电源