FSM2喜开理CKD气体用小型流量传感器产品特点：

【大流量、小体积】
流量范围：0.5～1000ℓ/min
500、1000L/min型实现了比原有体积减少30%的小型化。

【无需直管部位】
内置新的整流机构，上游侧和下游侧均无需直管部位，可自由设置。

【双方向测量】
显示一体型、双向型可任意设定流向进行测量。

【高速响应】
采用经过硅微加工的白金传感器芯片，实现50m/sec的响应速度。

【洁净规格】
标配有P70（防止发尘）、P80（禁油规格）产品。
适合半导体、液晶制造领域的用途。

FSM2喜开理CKD气体用小型流量传感器衍生系列

FSM2在吸附确认等情况下使用时注意事项
■ 在吸附确认等情况下使用本产品时，请根据使用真空压力、吸附喷嘴直径选择流量范围。
■ 在吸附确认等情况下使用本产品时，请务必在吸入侧的上游安装符合使用状况的空气过滤器，防止异物吸入。
■ 在吸附确认等情况下使用本产品时，请考虑大气的露点和本产品的环境温度，在配管内不结露的条件下使用。
■ 在吸附确认等情况下使用本产品时，根据本产品与吸附喷嘴之间的配管容积，响应速度可能会变慢。此时，请采取减小配管容积等对策。
■ 在吸气等真空用途中使用时，请勿在快插接头附近进行弯曲。快插接头附近的气管承受应力时，请在将插入式卡套插入气管后，再插入快插接头中使
用。

如需进一步了解喜开理传感器，请点击：CKD传感器