美国派克parker 超高纯隔膜阀 

955系列在过程流体的使用中采用无螺纹及弹簧连接，这种设计能够大限度的减少杂质的生成并且可以使过程减少污染，而这是半导体应用的关键。严格的阀门设计能够控制阀座及膜片的压力，从而提供稳定的免维护的使用寿命。955系列与流体接触的部分由特殊的金属构成具有卓yue的防腐蚀性及抗漏能力。阀体内部为Vericlean™ 316L不锈钢电抛光材质。Vericlean™ 是派克出色的超高纯级不锈钢材质。膜片是高强度的钴基合金。955系列阀座同时提供PCTFE(聚三氟氯乙烯），PEEK®（聚醚醚酮）和Vespel®(聚酰亚胺树脂）材质，以便可以兼容广范围的过程流体。这些材质组成了955系列严格的设计特征，为955系列提供了卓yue的抗腐蚀性，在入口压力250 psig时达到更大的使用寿命。

955系列的气动阀被设定成能够用限位开关或接近开关来提供开-关的位置指示。这个设定也应用在多阀体构造中，包括955Y（Y阀）和SM955（表面组装）。

955系列阀的内部（阀座）密封和金属外部密封均采用质谱仪进行氦气泄漏测试，以获得其在高要求的超高纯应用中有出色稳定的表现。

市场需求：
• 半导体
• 分析实验室
• 制药业
• 生物制药业
• 航空航天
• 工业

特点/优势：
• 5微英寸（Ra）电解抛光表面光洁度
• 高使用寿命（包含腐蚀性条件下）
• 内部无弹簧和无螺纹设计，更大限度的减少了杂质的生成和气体的卷入
• 从真空到250 psig适用
• 内部泄漏率：≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 外部泄漏率：≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 标称AOP驱动压力为75 psig

应用：
• 腐蚀性和特殊气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 特气柜
• 阀箱

Vericlean™ 是派克汉尼汾公司的商标
Vespel® 是杜邦公司的注册商标
PEEK™ 是威格斯公司的商标

美国派克parker 超高纯隔膜阀