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MKP韩国原装质量流量计数字型大流量质量流量控制器
系列是采用数字控制回路,即使大流量也保证了快速响应和高准确度,可以选择多种附加功能。
多气体多量程质量流量控制器 韩国MKP MARU5000
MKP质量流量控制器(Mass Flow Controller)
多量程、多气体
MARU 5000质量流量控制器
MARU 5000质量流量控制器是严格按照SEMI工艺制造,适用于各类半导体或高纯气体要求的工艺,采用数字通讯回路,便于诊断和实时控制,具有良好的抗腐蚀性功能,可以使用不同的气体。
MKP韩国原装质量流量计优势:
通过表面EP处理,产品有优秀的抗腐蚀性
由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定
模拟与数字通讯都可用(Analog,RS485,DeviceNet ,Profibus)
MGMR功能(多气体,多量程)
产品参数:
MARU 5000 量程范围5sccm-50slm
流量测定范围:2%-100%满量程
精度:≤±0.35%满量程(5%-35% Flow Range)/≤±1%读数(35%-100% Flow Range)
响应时间:<1sec
重复性:≤±0.15%满量程
正常工作压力:50-300Kpa
大工作压力:450Kpa
零点稳定性:<±0.5%F.S./年
温度系数:0.01%满量程/℃
泄漏率:1X10-11Pa.m³/sec(He)
阀门类型:常闭
密封形式:金属
数字接口:RS485,DeviceNet ,Profibus
信号类型:模拟0-5V,数字RS485,总线Devicenet、Profibus
电源:+15-24VDC
温度范围:5-50℃
预热时间:30min
材质:STS-316L电解抛光/真空退火(0.1um Ra)
全系列的快速响应时间
高**度和稳定性
密封应用
优化气门结构于有毒或易燃气体应用
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