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微分干涉显微镜MZL-MX4R
微分干涉显微镜性能特点:
1)MX4R系列为新型FPD检查显微镜,专为LCD行业/TFT玻璃/COG导电粒子压痕、粒子爆破检查
2)MX4R系列机型采用4寸、6寸平台设计,可适用于相应尺寸的晶圆或小尺寸样品的金相检查
3)MX4R系列,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美
4)MX4R系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源
5)多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、简易偏光、微分干涉观察
微分干涉显微镜MZL-MX4R标准配置:
放大倍率:50X、100X、200X、500X
光学系统:无限远色差正光学系统
目镜:高眼点大视野下平场目镜PL10X/22mm
物镜:LMPL无限远长工作距离金相物镜(5X-DIC\\10X-
DIC\\20X-DIC\\50X)
观察筒:30度倾斜,倒像,无限远铰链式三目观察筒,分光
比双目:三目=50:50或100:0
转换器:内倾式五孔转换器,带DIC插槽
镜体:粗微调同轴,粗调行程33mm,微调精度0.001mm,带
粗调机构上限位及松紧调节装置,内置100-240V宽电压变
压器,单路电源输出
载物台:4寸双层机械移动平台,行程105*105mm;带金属
平板平台,右手位X、Y移动手轮,配平台接口
反射照明系统:带可变视场光阑,均可调中心;带滤色片插
槽与偏光装置插槽;带斜照明切换拉杆。单颗大功率5W
LED ,白色,光强连续可调
透射照明系统(选配)
偏光装置:起偏镜插板,360度旋转式偏镜插板
摄像附件:0.5X摄像接筒,C型接口,可调焦
选配件:
目镜:高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm,视度可调,可
带测微尺
高眼点大视野平场目镜PL15X/16mm
物镜:LMPL无限远长工作距金相物镜(100X)
观察筒:25度倾斜,正像,无限远铰链式三目观察筒,分光
比双目=50:50或100:0
载物台:6寸三层机械移动平台,行程158*158mm,玻璃
工作台,右手位X、Y移动手轮,带离合器手柄,可快速移动
摄像接口:0.35X、0.65X、1X摄像接筒,C型接口,可调焦
滤色片:反射用干涉滤色片
其他:DIC微分干涉组件
★可选配6英寸三层机械移动平台,平台面积
445×240mm,行程158×158mm;带快速移动装置;玻璃
载物台板,透反两用平台;
★可选配8英寸三层机械移动平台,平台面积
450×310mm,行程200×170mm;带快速移动装置;玻璃
载物台板,透反两用平台;
★可选配标准微分干涉(DIC)装置、OLYMPUS微分干
涉(DIC)装置
干涉显微镜实拍效果参考图
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