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一、基于真空探针台的红外探测器自动测试系统的研究:
(1)半导体制冷台 一英寸测试台硬件测试电路的设计:该部分主要为芯片的测试提供驱动电压和时序激励,同时完成像元响应电压信号的采集与处理,同时在数据采集部分设计有单端转差分网络,消除共模噪声的同时还可以增强模拟电压信号的驱动能力。
(2)真空探针台探针卡的设计:对于不同阵列的探测器芯片,本文中设计有与之相对应的测试探针卡,同时将偏置电压的产生电路直接集成于测试探针卡上,偏置电压可通过探针直接偏置到芯片上,避免模拟信号传输过程中受到的干扰。
(3)测试系统自动控制的实现:本设计基于VC++的开发平台,通过RS232协议控制真空探针台和基于FPGA的测试电路模块,并使用Matlab完成测试数据的处理和分析,终实现对320×240和384×288系列芯片的自动选片测试。该自动测试系统实现了对非制冷红外探测器芯片晶圆和单片的自动测试,通过响应率、噪声等相关参数的测试结果完成对被测芯片整体性能的评估,并将测试结果以测试报告和wafermap的形式展示出来。此测试结果作为封装之前芯片选片的重要依据,极大的缩小了红外探测器的测试时间和封装成本。
二、发展背景:
(1)公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。
(2)公司通过和院校老师同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!
(3)目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉、半导体制冷台 一英寸测试台CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等,主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。
三、应用领域:公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。
温控器 | |
加热温度 | 35-400℃ 注意:热台温度和样品温度存在偏差 客户可用PT100热电阻贴在和样品接近的样品台面测量热电阻值对应分度值做校准。 |
温控误差 | ±1℃ |
热电偶类型 | PT100高精度传感器 |
温控表 | 宇电PID温控器 |
程序控温 | 1段(可选30段程序控温表) |
加热功率 | ≤300W |
加热电源 | AC220v |
尺寸 | 230x230x125MM |
重量 | 6kg |
真空探针热台 | |
腔体材质 | 304不锈钢 |
加工方式 | 一体式CNC精加工 |
内腔体尺寸 | 137X57X21mm 容积165ML |
加热台尺寸 | Φ35mm |
观察窗内径 | Φ45mm |
观察窗材质 | 高透光石英玻璃 |
信号输出头 | SMA母头 配线 SMA转BNC 1.5米 |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
抽气口 | KF16 |
进气口 | 6MM卡套 |
使用正压 | ≤O.05MPa |
使用负压 | 机械泵可获得真空≤10Pa 分子泵可获得真空≤10 -3 Pa |
可扩展配件 | 气体液体注射口 4芯电信号接头 8芯电信号接头 SMA905 光纤接口 扩展5KV高压电极 升级30段控温仪表 |
移动探针 | |
探针规格 | 探针粗Φ0.5mm 探针尖 10μm |
上下移动距离 | 2.5mm |
前后移动距离 | ±10mm |
左右旋转距离 | 120° |