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郑科探微型真空探针台标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等
郑科探微型真空探针台技术参数：
控制方式 | 手动人机界面控制 |
前级泵接口 | KF25（客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵） |
分子泵 | FF-100/150 51000转/分 |
分子泵抽气速率 | 140L/S |
分子泵启动时间 | ≤2min |
空载极限压强 | ≤1X10-4Pa |
真空测量方式 | 冷阴极标准规管 |
真空测量范围 | 1E﹢2到1E-5 Pa |
真空测量精度 | 1E-4到1E-5 Pa ±40%的读数 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的读数 重复性： ±5% |
抽气接口 | KF25 |
阀门类型 | KF25手动挡板阀 |
系统电源 | AC220V |
系统功率 | ≤750W |
环境温度 | 5~32℃ |
冷却方式 | 强制风冷却 |
湿度 | ≤80%RH |
外形尺寸 | 250 X360 X 300mm （宽-深-高） |
重量 | 25KG |
随机配件：KF25高真空挡板阀X1个 KF25卡箍X3个 kf25-1米不锈钢波纹管x1根 说明书X1本 电源线x1根 冷阴极真空计X1个 | |
