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微型真空探针台测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ30，台面最高可升温到最高400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。
微型真空探针台设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达<5Pa分子泵可达<-3Pa。真空信号连接处使用高级真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针顶尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号
| 温控器 | |
| 加热温度 | 35-350℃ |
| 温控误差 | ±1℃ |
| 热电偶类型 | PT100高精度传感器 |
| 温控表 | 宇电温控器 |
| 程序控温 | 1段（可选30段程序控温表） |
| 加热功率 | ≤300W |
| 加热电源 | AC220v |
| 尺寸 | 230x230x125MM |
| 重量 | 6kg |
| 真空探针热台 | |
| 腔体材质 | 304不锈钢 |
| 加工方式 | 一体式CNC精加工 |
| 内腔体尺寸 | 137X57X21mm 容积165ML |
| 加热台尺寸 | Φ30mm |
| 观察窗内径 | Φ46mm |
| 观察窗材质 | 高透光石英玻璃 |
| 加热温度 | 400℃ 注意：热台温度和样品温度存在偏差 客户可用PT100热电阻贴在和样品接近的样品台面测量热电阻值对应分度值做校准。 |
| 信号输出头 | SMA母头 配线 SMA转BNC 1.5米 |
| 电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 500V |
| 抽气口 | KF16 |
| 进气口 | 6MM卡套 |
| 使用正压 | ≤O.05MPa |
| 使用负压 | 机械泵可获得真空≤10Pa 分子泵可获得真空≤10 -3 Pa |
| 观察窗内径 | φ45 |
| 移动探针 | |
| 探针规格 | 探针粗Φ0.5mm 探针尖 10μm |
| 上下移动距离 | 2mm |
| 前后移动距离 | 20mm |
| 左右旋转距离 | 120° |
