持久型小型溅射仪
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持久型小型溅射仪

KT-Z1650PVD持久型小型溅射仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-03-27 15:04:05
921
属性:
靶材材质:金 铂 铜 银 等;靶材尺寸:50mm;产地类别:国产;价格区间:面议;溅射气体:根据需求通气;控制方式:触摸屏智能控制;样品仓尺寸:φ160x160mm;样品台尺寸:50mm;应用领域:综合;
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产品属性
靶材材质
金 铂 铜 银 等
靶材尺寸
50mm
产地类别
国产
价格区间
面议
溅射气体
根据需求通气
控制方式
触摸屏智能控制
样品仓尺寸
φ160x160mm
样品台尺寸
50mm
应用领域
综合
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郑州科探仪器设备有限公司

郑州科探仪器设备有限公司

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产品简介

持久型小型溅射仪,石英玻璃腔体,溅射距离可调节,外接水冷机可持久溅射,触摸屏控制,溅射时间工艺记忆储存。

详细介绍

持久型小型溅射仪

一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,

     磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。

需要镀膜的样品

1、电子束敏感的样品:

主要包括生物样品,塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;

2、非导电的样品:

由于样品不导电,其表  面带有电子陷阱  这种表面上的电子积累  被称为充电。为了  消除荷电效应,可在样  品表面镀一层金属导电  层,镀层作为一个导电  通道,将充电电子从材  料表面转移走,消除荷  电效应。在扫描电镜成  像时,溅射材料增加信  噪比,从而获得更好的成像质量。637852830951780038369.jpg

持久型小型溅射仪厂家供应技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口




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