等离子清洗机 如何使用?

视频简介

等离子清洗机作为一种微观固体表面的处理设设备,是一种全新的表面处理方案。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁等目的。

主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

该清洗机内置高纯石英仓体,采用了新型的电极结构设计和固态电源技术,使其有效容积增大,不同真空 气体环境下容易匹配,且控制频率稳定。真空仓门有观察窗,可直观物体的处理过程,其射频电源与控制都组装在一个机箱内,即减少了空间的占用,更便于操作和放置,同时与大型清洗机相比较,从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作,特别适用科学实验 样品清洗 和教学。

  

 

 

设备型号

KT-Z2DQX

KT-S2DQX

KT-Z5DQX

控制方式

7寸触摸屏人机界面

7寸触摸屏人机界面

7寸触摸屏人机界面

供电电源

AC220VAC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

射频电源功率

1000W

150W

300W

匹配方式

自动匹配

手动匹配

自动匹配

清洗频率

40KHz

13.56MHz

耦合方式

电容耦合

工作真空

≤50Pa

腔体材质

高纯石英

腔体容积

2L(内径110MMX深度220MM)

2L(内径110MMX深度220MM)

5L(内径160MMX深度310MM)

观察窗内径

Φ50

Φ50

Φ70

气体流量

0-300ml/min式质量流量传感器X2个)

真空计量程

1E5Pa1E-1Pa(皮拉尼真空计)

过程控制

手动/自动切换

手动/自动切换

手动/自动切换

清洗时间

自动开关

开盖方式

铰链侧开式法兰

外形尺寸

150*500*250mm

450*460*370mm

530*580*420mm

重量

20kg

35kg

40kg

真空室温度

小于65°C

冷却方式

强制风冷

标配

KF16真空1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。

 

 

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