SMC冷水机深冷器温控器循环液温调装置水冷式深冷器高性能型HRW
工厂循环水的直接热交换器。
用于在无需冷冻机的温度范围内进行温控。
温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业。
符合UL, SEMI规格及CE标识。
可选择变频型。
设定温度范围：20～90℃
冷却能力：2kW, 8kW, 15kW, 30kW
温度稳定性：±0.3℃。
冷却方式：水冷却式（无冷冻机） 
循环液：氟化液、清水、脱离子水（纯水）、乙二醇水溶液（60％）

型号：
HRW002-H
HRW008-H
HRW015-H
HRW030-H
HRZ001-L
HRZ002-L
HRZ004-L
HRZ008-L
HRZ001-H
HRZ002-H
HRZ004-H
HRZ008-H
HRZ002-W
HRZ008-W
HRZ010-WS
HRZ010-W1S
HRZ010-W2S
HRR012-A
HRR018-A
HRR024-A
HRR030-A
HRR012-W
HRR018-W
HRR024-W
HRR030-W
HRZD020-WS-WS 
HRL100-A-20
HRL200-A-20
HRL300-A-20