SMC双深冷器高性能变频型HRZD系列
1台深冷器可分别控制2个系統。
双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能。
省空间：设置面积减小23％。
省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統。
符合SEMI规格、CE标识。
设定温度范围：－30～90℃
冷却能力：9.5kW×2
温度稳定性：±0.1℃。
冷却方式：水冷冷冻式
循环液：氟化液、乙二醇水溶液（60％）

型号：
HRZD020-WS-WS 
HRZ001-L
HRZ002-L
HRZ004-L
HRZ008-L
HRZ001-H
HRZ002-H
HRZ004-H
HRZ008-H
HRZ002-W
HRZ008-W
HRZ010-WS
HRZ010-W1S
HRZ010-W2S
HRR012-A
HRR018-A
HRR024-A
HRR030-A
HRR012-W
HRR018-W
HRR024-W
HRR030-W
HRL100-A-20
HRL200-A-20
HRL300-A-20