日本*SMC深冷器高性能变频型HRZ系列
SMC深冷器高性能型HRZ系列
温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业。
符合各种安全规格。
符合UL, SEMI规格以及CE标识。
设定温度范围：－20～40℃、20～90℃、－20～90℃
冷却能力：1kW, 2kW、4kW, 8kW
温度稳定性：±0.1℃。
冷却方式：水冷冷冻式 
循环液：氟化液、清水、脱离子水（纯水）、乙二醇水溶液（60％）

SMC深冷器高性能变频型HRZ系列
在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能。
温度范围和冷却能力范围大。
用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化。
符合UL, SEMI规格及CE标识。
设定温度范围：－20～90℃ 、 10～60℃
冷却能力：10kW
温度稳定性：±0.1℃。
冷却方式：水冷冷冻式 
循环液：氟化液、清水、脱离子水（纯水）、乙二醇水溶液（60％）

型号：
HRZ001-L
HRZ002-L
HRZ004-L
HRZ008-L
HRZ001-H
HRZ002-H
HRZ004-H
HRZ008-H
HRZ002-W
HRZ008-W
HRZ010-WS
HRZ010-W1S
HRZ010-W2S
HRR012-A
HRR018-A
HRR024-A
HRR030-A
HRR012-W
HRR018-W
HRR024-W
HRR030-W
HRZD020-WS-WS 
HRL100-A-20
HRL200-A-20
HRL300-A-20
HRW002-H
HRW008-H
HRW015-H
HRW030-H