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电感耦合等离子体发射光谱仪简称ICP光谱仪，该光谱仪是进行液体中元素分析光谱仪的一种。ICP光谱仪可以分析元素周期表上绝大多数元素的定量分析，包括金属元素，碱土金属元素，高配置的ICP光谱仪还可以分析卤素。ICP光谱仪属于原子发射光谱仪，根据不同元素的谱线发射特征进行定量分析，根据谱线的发射强度来进行定量分析。ICP光谱仪只能进行液体进样，固体可以通过酸溶解稀释之后进行定量分析，所以ICP光谱仪的适应性很宽广，可以应用于水质、环保、材料中的元素分析。早期的ICP光谱仪的检测器是光电倍增管的，当代多数的ICP发射光谱仪都属于CCD全谱检测器的。光电倍增管检测器的ICP属于顺序扫描型，光谱仪内部有一个运动机构，在检测不同元素的时候会调整谱线的角度，从而可以扫描不同的元素；而CCD检测器的ICP光谱仪，内部没有运动机构，当复合谱线通过光栅的时候，经过光栅分光的谱线会被CCD全谱检测器全部一起接受，通过全谱光电转换，从而接受到所有谱线；ICP光谱仪的分析速度很快，而且检出限也很低，线性范围宽广，适合于微量和常量元素的定量分析。但是ICP光谱仪的使用成本较高，特别是氩气消耗量，很多顾客在购买的时候会和原子吸收分光光度计进行对比。如果日常分析量不算特别大，可以采用原子吸收分光光度计替代ICP，在购买成本和使用成本上会给用户带来节约。ICP光谱仪因为只能分析液体，所以在进行固体材料元素痕量分析的时候会表现出它的缺点，比如说当固体材料当中元素含量很低的时候，为了获得液体样本，需要对固体材料进行稀释，有可能稀释之后的样本的含量已经达不到ICP的检出限了，在这个时候就需要用ICP-MS进行分析了，质谱检测器可以进一步提高仪器的检出限。如果客户需要对超高纯金属，比如5个9以上的材料的杂志进行分析，那么就要上GD-MS了，也就是辉光质谱仪。辉光质谱仪是直接对固体进行激发分析，在分析过程中不需要对材料进行液化处理，也就是不需要稀释就可以直接分析，辉光质谱仪可以对高纯金属或者非金属中的杂质进行超低含量分析。

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