干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用和发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。

抽除易燃易爆及腐蚀性介质怎么办？

*，腐蚀是由于溶液里的酸性离子和碱性离子跟金属发生反应才造成的，温度越高腐蚀的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材质或是在转子上做一些防腐涂层来延缓腐蚀速率。

但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件，所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。

此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质，一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态，没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了？雅之雷德机电科技答案是肯定的。该泵应用其自身*的冷却系统，可以调整泵腔内及转子的温度，使之没有离子形式存在，全都气化，从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢，不做任何涂层，降低了成本，增加了安全性能。

评价爆炸有两个指标：可燃物质的闪点及燃点。因为螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体内没有摩擦，所以不会产生电火花，就没有了火源，另外其通过自身的冷却系统降低泵内温度使被抽物质的燃点难以达到，从而杜绝爆炸！

干式真空泵是行业发展的趋势，干式真空泵使工作容积中无油，因此带来了不少益处。有些立式螺杆真空泵通过对内表面温度的控制以满足新的防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度，从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应；轻松的输送腐蚀性介质，安全的输送易燃易爆气体。适于处理含固体微粒介质并且不需要加过滤器。