随着社会科技的发展，越来越多的行业，对清洁真空、环保等的需求严格，要求避免返油漏油的污染，因此干式真空泵得到了快速地发展。因为起步较晚，很多企业用户对干式真空泵的印象仅仅停留在爪式真空泵、螺杆真空泵少数几类上。
 

       干式真空泵主要用于高纯度真空工艺，真空度大，因此可适用于工业矿山，可处理含有可凝汽的气体、含有小颗粒的气体。它具有低耗能、抽速大、使用寿命长、免维修、无需润滑等特点，因此在石化、冶金、医药、生物工程、造纸、微电子工程等行业将全面替代技术含量低的真空设备。

干式真空泵由定子、转子、旋转片、气缸体、马达等主要部件构成。带有转子叶片的转子偏心安装在固定气缸中。当转子高速旋转时，泵腔被转子槽中的四个径向滑动的转子叶片分成四个工作腔。由于离心力的作用，转子叶片靠近圆筒壁，定子进出口分离，重复运行，改变体积，从排气口排放吸入气体。
 

       由于干式真空泵没有真空介质（真空泵油、水等），干式真空泵的气体不受真空介质的污染。因而回收溶剂是洁净的。这样的真空下冷凝部变换为常压下冷凝，溶剂系材料的回收率大幅度提高，特别有利于在真空下难以冷凝的材料。通过这种工艺配置，排放的废气基本上没有有机废气。另外，泵排空气体通过列管式冷凝器的壳程后，噪声也大为下降。
 

       干式真空泵与油泵相比真空度低，抽气量小，但体积小巧，易于安装，维护简单，移动方便，不产生油烟，不污染环境，尤其在要求较高的实验室使用较好。也是实验室常备的设备之一。因此在选购干式真空泵时要先确定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而选的真空泵就要高于需求的真空度，否则达不到抽真空的要求，就会达不到工作要求。