爱德华干式涡旋泵nXDS10i

概述

nXDS10i 是下一代*无油的干式涡旋泵，并取代 XDS10。nXDS 提高了传统泵的性能，抽速更高，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 还采用了*新的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 泵可*进行现场维修。

爱德华干式涡旋泵nXDS10i用途

一般清洁泵送应用

电子扫描显微镜 - SEM

射束线和高能物理

前级涡轮泵

超高速离心机

覆层

低温学

脱气/硫化 - 油，环氧树脂

蒸馏/萃取/过滤

冷冻干燥

熔炉

凝胶体干燥

实验室工作台上真空

激光、气体回收和再循环

氦检漏仪

负载锁和传输腔

稀有气体再循环

稀有气体回收

冷冻制造

研发

旋转离心蒸发器

SEM/FIB（离子束维修）

溶剂回收

表面科学仪器

特性与优势

真空外壳中不需要使用润滑剂，*密封可保证*的清洁和干燥真空，防止交叉污染

无大气压到真空的轴封可使轴承*隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长

简单的单侧滚轴布置电机和轴承设计相结合，只需低程度的特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本，尽可能延长正常运行时间

改进了电机和传动效率，可降低功耗和运行成本

*的接口提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现远程控制/监视

本产品特点：

1、温控风扇

       可以在低负载条件下降低风扇转速，从而使小噪声降至仅52dB（A)。

2、轴承罩

      可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中，从而延长轴承的使用寿命。

3、变频器驱动

     范围内泵性能*相同，易于控制，功耗降低和自动电压调整特性，从而有助于打造jia用户体验。

4、优化涡盘设计

     转速提高，极限真空比第yi代提高一个数量级，低极限压力仅为7*10^-3mbar。

5、优化断面密封技术

    使用寿命发生显著变化，就大多数应用而言，典型的端面密封条使用寿命达到两年以上。

6、高流量气镇特性

    可以gao220g/hr的速度抽取蒸汽（包括水蒸气）。

技术参数：