善准科技等离子清洗机VP-R3采用低温真空石英腔体等离子清洗装置技术，真空腔体石英玻璃材质，腔体容积3升，两路进气通道，进气量可调，流量实时监测，数显真空检测，实时观察自动泄压动态，中英文触摸屏操作系统，功率160W，频率13.56MHz，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行3分钟，腔体温度不高于32℃，不损伤样品，适用于碳毯（CF）、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的处理。