等离子表面处理仪VP-R3采用低温真空石英腔体等离子清洗装置技术，腔体石英玻璃材质，容积5升，工作气路2路，中英文触摸屏操作控制，等离子处理结束自动泄压，射频频率13.56MHz，射频功率160W，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行30分钟，腔体温度不高于32℃，不损伤样品，适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。

      广州善准科技有限公司（Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd）位于中国广州，专注于等离子表面处理仪、旋转型真空等离子处理仪、旋转型等离子体低温灰化仪和石英管真空封管机的研究、开发和制造。善准人经过多年的刻苦钻研，抽丝剥茧，反复测试、成功获得“一种低温旋转型石英等离子表面处理装置：ZL202020226847.2）”等十项国家技术及软件著作权，成为国内掌握产生13.56MHz频率，保证满功率清洗30分钟真空腔体内温度不超过32摄氏度的等离子生产厂家，应用此技术的VP-R系列迅速成为行业“爆款”，补充国内技术空白，性能比肩一线厂家；研发生产的VP-T系列旋转型等离子处理仪和VP-TA系列旋转等离子体低温灰化仪成功推出，进一步巩固了善准科技在真空等离子清洗行业的地位；而回应市场需求，解决样品在无氧无水条件下进行PLASMA处理的痛点而推出的手套箱专用分体式等离子处理仪，则验证了善准人与时俱进的研发能力和敢为人先的风格；VS-Q系列石英管真空封管机解决实验室安全、简易地真空密封石英管的难点，是对石英管真空密封技术的重新定义。