环氧乙烷灭菌的原理是将环氧乙烷气体注入灭菌柜中，使其与物品表面充分接触，从而杀死细菌、病毒和其他微生物。环氧乙烷是一种广谱灭菌剂，可以在常温下杀灭各种微生物，包括芽孢、结核杆菌、细菌、病毒、真菌等。它的分子式为C2H4O，分子量44.05，蒸气压较大，可以穿透微孔达到物品的深部，液体和气体均有较强的杀微生物作用，气体的杀微生物作用更强。‌12

环氧乙烷灭菌装置是一次性使用无菌医疗器械生产企业的关键设备，其安装操作、使用管理有其特殊要求。在使用环氧乙烷进行灭菌时，需要注意其安全性和正确的操作流程，因为环氧乙烷是一种有毒气体，易燃易爆，具有芳香的醚味，在室温条件下容易挥发成气体，当浓度过高时可引起爆炸。‌26

此外，环氧乙烷灭菌后，为确保安全性，会经过一个解析期，以确保环氧乙烷的残留量不会对人体造成伤害。国家规定一次性医用口罩出厂时经过解析期后的环氧乙烷残留量不能超过10微克/克，这一浓度对人体不会带来伤害。‌4

在工业生产中，环氧乙烷由于能够杀死多种微生物，是一种常见又好用的消毒剂。它能在“又冷又干”的条件下工作，对很多怕热、怕湿、怕压的医疗器械和医疗卫生用品来说，环氧乙烷是杀菌消毒。‌5

关于环氧乙烷灭菌的废气处理，采用的是水吸附-汽提解析和催化分解的方法，将环氧乙烷废气转化为无害物质，确保排放的气体符合环保标准。‌