热式气体质量流量计又称罗茨气体流量计，是基于热扩散原理而设计的，该仪表采用恒温差法对气体进行准确测量。具有体积小、数字化程度高、安装方便，测量准确等优点。质量流量计是一个较为准确、快速、可靠、高效、稳定、灵活的流量测量仪表，在石油加工、化工等领域将得到更加广泛的应用，相信将在推动流量测量上显示出巨大的潜力。质量流量计是不能控制流量的，它只能检测气体的质量流量，通过模拟电压、电流或者串行通讯输出流量值。

工作原理：

热式气体质量流量计是利用恒温差原理测量气体流量的仪表。传感器部分由两个基准级铂电阻温度传感器组成，仪表工作时，一个传感器不间断地测量介质温度 T1；另一个传感器自加热到高于介质温度T2，它用于感测流体流速，称为速度传感器。该温度ΔT=T2-T1，T2>T1，当有流体流过时，由于气体分子碰撞传感器并将 T2 的热量带走，使 T2 的温度下降，若要使 ΔT 保持不变，就要提高 T2 的供电电流，气体流动速度热快，带走的热量也就越多，气体流速和增加的热量存在固定的函数关系。由于传感器温度比介质（环境）温度总是自动恒定高出 30℃左右，所以热式气体流量计从原理上不需要温度补偿。