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HEIDENHAIN海德汉敞开式直线光栅尺设计用于对测量精度要求*的机床和系统
海德汉 – 高精位置测量和控制技术
约翰内斯•海德汉博士公司研发和生产高质量直线光栅尺和角度编码器、旋转编码器、数显装置和数控系统。 海德汉公司产品主要用于精密机床和电子元件的生产和加工设备。
我们拥有研发和生产测量设备和数控系统的丰富经验和专业知识,我们为未来大型设备和生产型机床的自动化打造发展基础。
典型应用包括:
半导体业的测量和生产设备
PCB电路板组装机
超高精度机床
高精度机床
测量机和比较仪,测量显微镜和其它精密测量设备
直驱电机
HEIDENHAIN海德汉敞开式直线光栅尺技术参数:
技术指标 | LIP 382 |
测量标准 | Zerodur玻璃陶瓷上的DIADUR相位光栅;光栅周期0.512微米 |
线性膨胀系数 | α THERM =(0±0.1)×10 -6 ķ -1 |
精度等级 | ±0.5 µm(可根据要求提供更高的精度等级) |
基线错误 | ≤ ±0.075 µm / 5毫米 |
测量长度ML * ,单位mm | 70 120 150 170 220 270 |
参考标记 | 没有 |
接口 | 1 V PP |
综合插补 | – |
信号周期 | 0.128微米 |
截止频率–3 dB | ≥1兆赫 |
扫描频率* | – |
边缘分离a | |
移动速度 | ≤ 7.6米/分钟 |
插补误差 | ±0.01纳米 |
位置噪声RMS | 0.06 nm(1 MHz 1)) |
激光 | 扫描头和天平安装: 1级 |
未安装扫描头: 3B级 | |
使用的激光二极管: 3B级 | |
电气连接 | 0.5 m电缆至接口电子设备(APE), |
可连接至APE的单独适配器电缆(1 m / 3 m / 6 m / 9 m) | |
电缆长度 | 参见接口说明,但≤30 m(使用海德汉电缆) |
电源 | 直流5 V±0.25 V |
目前的消费 | <190毫安 |
振动55 Hz至2000 Hz | ≤4 m / s 2(EN 60068-2-6) |
震动11毫秒 | ≤50 m / s 2(EN 60068-2-27) |
工作温度 | 0°C至40°C |
质谱 扫描头 | 150克 |
接口电子 | 100克 |
线性刻度 | ML70毫米: 260克,ML ≥ 150毫米: 700克 |
连接线 | 38克/平方米 |
* 订购时请选择 | |
1) 后续电子设备的–3 dB截止频率 | |
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