美国honeywell气体质量流量传感器产品描述：

该传感器具有基于*微结构技术的*硅芯片。它由一个薄膜，热隔离的桥式结构组成，该结构包含加热器和温度感应元件。桥结构能够快速灵敏地响应流过芯片的空气或其他气体气流。中心加热元件双面的双传感元件还能指示气流流过的方向和速率。

专门设计的外壳可精地引导和控制穿过微结构传感元件的气流。封装的机械设计能够轻松地将其安装在印刷电路板上。

激光微调的厚膜和薄膜电阻器可在一台设备与另一台设备之间提供一致的互换性。这些电阻呈现悬浮状态，在硅片的刻蚀腔上方形成两座桥。微桥气体质量流量传感器利用包裹在氮化硅薄膜中的热电阻。

通过蚀刻流量传感器桥下的空腔空间，可实现加热器和感应电阻的高效，热隔离。

双惠斯通电桥控制气流测量-一个提供闭环加热器控制，另一个包含双重传感元件。

加热器电路将加热器温度保持在高于环境空气温度的恒定差（160°C）的恒定差（160°C）处，该温度由热量感测到。芯片上的沉电阻。装置的输出与电源电压成比例，也与惠斯通电桥电路的差分电压相对应。

未放大的版本需要加热器控制电路和感测电桥供电电路才能按照规范进行操作。差分放大器电路在提供输出增益和/或向传感器输出引入电压偏移时可能会很有用。放大版本的板上电路可用于增加输出增益并引入电压偏移。（有关更多电路信息，请参见产品数据表和安装说明。）

美国honeywell气体质量流量传感器技术规格：

honeywell传感器产品特色

• 精密硅微机械加工

• 对0.1 SCCM至6 SLPM的低流量敏感

• 适用于较高流量

• 低功耗允许用于便携式设备和电池供电的应用

• 模拟输出

• 标准的2.54毫米[0.10英寸]安装中心

• 激光修正达到可互换性

• 准确检测低压

AWM43300V传感器应用领域:

• 加热，通风和空调系统的风门控制

• 气体分析仪

• 低真空控制

• 过程控制

• 医用H吸机和肺活量仪

• 制氧机

• 泄漏检测仪

• 通气罩

• 麻醉控制

• 气体计量

• 气相色谱仪

更多产品详见：honeywell传感器