小型流量控制器 RAPIFLOW (R)

CKD流量传感器型号

FCM

NEW

是将流量传感器功能、比例控制功能、阀功能单元化，进行必要流量控制的设备。

行业

• 保护气体
• 氮气清洗关联元件
• 理化分析设备

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流量传感器・控制器

小型流量传感器 Rapiflow(R)

型号

FSM3

1个FSM3能够对应空气，氮气，氩气，二氧化碳和混合气的5种气体。

行业

• 保护气体
• 半导体制造工序（后工序）
• 氮气清洗关联元件

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流量传感器・控制器

静电容式电磁流量传感器

型号

WFC

直通结构流量传感器。不会发生异物堵塞和检测不良。适合点焊机、各种机床、高频淬火装置等。

行业

• 冷却水
• 耐环境
• 冷却液控制

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水用相关元件

水集成单元

型号

WXU

实现了冷却水循环回路的流量传感器、阀一体化的集成单元。在大幅减少水路的繁琐配管设计及配管作业工时的同时，占用空间减少80%，实现了系统的省空间化。