碳化硅(SiC)已成为工业电子领域重要的宽禁带半导体之一，由于其高热导率、高击穿场强、高电子饱和漂移速率等优势，特别是对于大功率半导体器件，碳化硅优于硅，更受青睐。而碳化硅(SiC)外延材料的厚度、背景载流子浓度等参数直接决定着SiC器件的各项电学性能。

　　因此，碳化硅外延技术对于碳化硅器件性能的充分发挥具有决定性的作用，是宽禁带半导体产业重要的一环。不知您是否为外延层厚度无损分析问题而困扰，在此我们介绍一种光学无损外延层厚度分析技术——傅立叶变换红外反射光谱法(FTIR)。

　　红外光谱法可用于测量半导体外延层厚度，无论硅基还是化合物半导体，且测量精度高。此方法是基于红外光在层状结构中产生的光干涉效应的分析，结合基础的物理自洽拟合模型，充分利用所测得的光谱特征，拟合计算给出准确的层厚厚度值。

　　对于掺杂后折射率参数很难准确确定的情况下，不仅可用于单层外延层层厚分析，更重要的可以用于复杂多层结构外延层层厚分析。结合布鲁克INVENIO，VERTEX系列宽波段光谱仪，可用于亚微米量级至毫米量级的外延层层厚分析。

　　厚度范围：亚微米量级至毫米量级

　　同质外延、异质外延

　　单层、多层

　　专用的分析模型，尤其对于复杂、多层结构的分析

　　可选自动晶圆扫描成像附件，可对直径2"—12"的晶圆进行自动多点测试、分析

　　傅立叶变换红外光谱技术高精度、高光通量、高灵敏度、高特征性、快扫描速度，可以研究稳态、及动态样品信息，在催化剂表征方便有成熟、广泛的应用。主要用来研究催化剂表面组成，固体酸催化剂表面酸性部位类型(L酸，B酸)，表面吸附态，载体与助剂间的相互作用以及与活性组分之间的相互作用。

　　结合各种采样模式原位池(透射、漫反射)，以及跟超高真空腔室(UHV)联用的原位红外光谱容易实现各种温度、压力、气氛以及光照的原位光谱分析，结合傅立叶变换红外时间分辨功能，特别在气固相催化反应机理、反应动力学研究方面得到广泛的应用和青睐。

　　INVENIO 是布鲁克推出的研究级傅立叶变换红外(FTIR)光谱仪的入门级产品。INVENIO 产品的创新技术及其智能精巧的设计为新一代傅立叶变换红外光谱仪树立了标准。新的光路设计将带来优异的信噪比、较宽的光谱范围(覆盖从远红外至紫外/可见光谱区)和高灵活性，适用于各种复杂的实验配置。

　　可选的集成平板电脑触控界面让 您拥有简单的工作流程和舒适的操作体验。

　　布鲁克的 MultiTect™ 检测器技术支持多达5个全自动室温检测器。结合独立的 DigiTect™ 检测器位与支持快速 MIR 测量的 Transit™ 通道，INVENIO 内部可配备多达 7个自动检测器，让您的日常工作变得更加舒心。

　　布鲁克INVENIO原位催化/外延层厚度 傅立叶变换红外光谱仪特点：

　　1.可选的平板电脑触控操作界面，有助于实现简单的工作流程

　　2.创新型 MultiTect™ 检测器技术，支持多达 5个室温检测器

　　3.独立 DigiTect™ 检测器插槽，用于如 LN2 冷却型检测器或其他 DigiTect™ 检测

　　4.Transit™ 测量通道，满足中红外透射快检需求

　　5.RockSolid™ 长久性准直干涉仪，让您能够轻松地更换分束器

　　6.布鲁克FM技术，实现 6000 cm-1 到 80 cm-1中远红外谱区的一次性测量

　　7.可实现近红外、远红外和紫外/可见光光谱范围的轻松升级

　　8.3 个输出与 2 个输入光束端口，可通过软件进行选择。若需要，还可提供第四个输出端

　　9.兼容 VERTEX 谱仪的所有附件外部模块

　　集成触控平板电脑

　　集成的平板电脑触控界面可左右直线移动，还可沿两个方向倾斜，给您日常的科学实验带来更为轻松智能的舒适体验。OPUS-TOUCH R&D 软件为您简化了工作流程、实现直观的操作。在科研级应用中，可连接台式电脑进行更多的高级操作和分析。

　　MultiTect™ 检测器技术

　　让人难以置信但千真万确的事实是，布鲁克的创新型MultiTect™检测器技术支持同时配置多达 5 个全自动室温检测器，从而覆盖从远红外至紫外/可见光的整个光谱范围。结合独立的 DigiTect™ 检测器插槽和 Transit™ 通道，INVENIO 可配置多达7个内置检测器，并可通过软件予以控制。

　　Transit™测量通道

　　INVENIO 可选择性配置一个额外的透射测量通道，以便快速、方便地进行中红外光谱的测量。Transit™ 通道集成了中红外 DTGS 检测器，直接获得快检结果，无需移除主样品室中的大型光学附件。

　　光谱分辨率

　　INVENIO 的光谱分辨率优于 0.16 cm-1，可满足几乎 一切气态与凝聚态样品(例如，固态或液态样品)的 测量要求。

　　宽光谱范围

　　INVENIO 可选择性地配备光源、任意数量的分束器 和检测器，以覆盖从 15 cm-1 到 28,000 cm-1，也就是 从超远红外至紫外/可见光的整个光谱范围。得益 于长久准直的 RockSolid™ 干涉仪、布鲁克*的 MultiTect™ 检测器技术和多个内部与外部光源位置，改变光谱范围变成了一项十分简单的任务。只需 添加相应谱区的光学元件(检测器、分束器和光源) ，即可轻松地将每台 INVENIO 升级到全谱区范围。

　　布鲁克 FM 技术

　　布鲁克的FM中远红外同步技术由其*的超 宽范围分束器和宽范围 DLaTGS 检测器组成。 结合标准内部红外光源，可通过一次性测量而无需 更换任何光学元件，生成从 6000 cm-1至80 cm-1 的 完整远、中红外光谱图。

　　新一代智能型研究级光谱仪

　　INVENIO 的创新型仪器设计体现在多个方面， 例如，可向宽光谱范围轻松升级的能力、优化的方 便更换附件的 QuickLock 功能、带有创新型磁性 基座的电子编码窗口、可自动识别的样品支架、用于验证与定制滤光器的 8 档滤光器轮，以及用于高灵敏度检测器或用于衰减外部光源或激光 的内置5级自动衰减器轮。内置独立 CPU 的强大 电子单元为将来各种技术升级打下基础。