XTrace-基于SEM高性能微区荧光光谱仪

   XTrace是一款可搭配在任意一台具有倾斜法兰槽 SEM上的微焦点Ｘ射线源。利用该设备可使SEM具备完整意义上的微区 XRF光谱分析能力。对于中等元素至重元素范围内的元素，其检测限提高了 20-50倍。此外，因为Ｘ射线的信号激发深度深于电子束，利用该设备还可以检测更深层次样品的信息。

XTrace-基于SEM高性能微区荧光光谱仪采用了Ｘ射线毛细导管技术，利用该技术，即使在非常小的样品区域也能产生很高的荧光强度。Ｘ射线毛细导管将Ｘ射线源的大部分射线收集，并将其聚焦成直径35微米的一个Ｘ射线点。
      利用QUANTAX EDS*系统的 XFlash®系列电制冷能谱探头即可对所产生的Ｘ射线荧光光谱进行采集。 XFlash®电制冷能谱探头使整个系统具备了非常高的能量分辨率，同时兼具了强大的信号采集能力。比如，利用有效面积 30 mm²的探头在分析金属元素时的输入计数率可达 40 kcps。
      Ｘ射线毛细导管技术使荧光强度得到极大的增强，同时，荧光光谱的背底较低，这些都提高了系统对痕量元素的敏感度。相较于电子束激发的信号，其检测限可提高 20-50倍。而且，因为Ｘ射线源激发信号对于高原子序数元素更有效，所以高原子序数元素检测限可提高至 10ppm。
       QUANTAX能谱仪系统和微区荧光光谱仪系统可在同一用户界面内结合使用，从而互相补强，实现定量分析结果的优化。

用户友好型设计
聚焦于分析任务，而非繁琐的系统设置
       利用ESPRIT HyperMap进行面分布分析的同时采集了所有的数据并存储，便于后续的离线分析。
       样品可利用 EDS系统和 micro-XRF系统并行进行分析，而无需任何的样品移动。
       两种分析方法无缝整合在同一分析软件 ESPRIT中，切换分析方法只需轻点鼠标。
       XTrace不会干扰任何 SEM及EDS操作。
仅需点滴投入，即可获得独立微区荧光光谱仪的强大功能
       分析结果可与独立系统媲美。
       样品倾斜后可对更大区域进行面分布
       提供三个初级滤片以压制衍射峰
       直接利用扫描电镜样品台，无需其他的样品台装置。
       通过扫描电镜样品台的旋转轻松避免谱图中衍射峰的出现。
       可倾斜样品以获得小束斑直径。