赛默飞扫描电镜Axia ChemiSEM，采用*方法进行样品成分信息的采集、处理和展示；依托先进镜筒技术，保持系统始终处于状态，可聚焦样品采集数据，随时提供高质量图像；采用全开门式设计，耐用性和灵活性更高；可搭载多款扫描电镜软件实现多种自动化功能；简约化设计，全方面性能出色，可表征各种不同类型材料，提供全面的信息。其成像平台即时可用，集成*的实时定量能谱面分析功能，成像即刻并融合成分信息，专为快速分析而设计，操作轻松自如。

赛默飞扫描电镜Axia ChemiSEM参数：

发射源：预对中钨灯丝

分辨率：
3.0nm@ 30kV（SE）；8.0 nm@ 3kV（SE）
放大倍数：5 ~ 1,000,000×（宝丽来相纸放大）
加速电压范围：200V ~ 30kV
探针电流范围：可高达到2μA，连续可调
X-Ray工作距离：10mm  EDS检出角35°
样品室：内宽280mm，端口10个
样品台：五轴全自动马达驱动
☆ X=120 mm,
☆ Y=120 mm,
☆ Z=55 mm,
☆ T=-15º~90º,
☆ R=360º （连续旋转）

☆ 大样品承重 10 kg

探测器系统：
☆ 高真空二次电子探测器ETD
☆ 可伸缩式背散射探测器BSED
☆ 样品室内红外相机CCD
☆ 图像导航彩色光学相机Nav-Cam+™
☆ 具有ChemiSEM技术的TrueSight X EDS 探测器

控制系统：
☆ 操作系统：Windows 10
☆ 图像显示：24寸LCD显示器，显示分辨率1920×1200
☆ 支持用户自定义的GUI，可同时实时显示4幅图像
☆ 软件支持Undo和Redo功能

实时成分信息：同步扫描获取多种信号时执行能谱分析，实时检测形貌与元素信息；

成像平台即时可用：只需关注数据采集，不必忧虑电镜条件设置；
更快获得数据：多种成像和扫描策略，优化图像采集效果并提升系统处理能力；
灵活的样品台设计：全开门式设计，大样品可轻松噶那个如样品仓内，大样品10Kg；
优良的成像性能：提供低真空模式和电子束减速模式用于消除荷电效应。