A.    

工作室尺寸

1、 真空容器：Φ1000×1200mm（直径×直段长度）；

2、 有效工作区（热沉内）：Φ800×1100mm（直径×直段长度）0.55m3

外形尺寸

2800×1500×2000mm（D×W×H）

*外形尺寸包括了控制箱等全部突出尺寸

B.    

真空度指标

1、 极限真空度：≤5×10-5Pa（空载、真空洁净状态）

2、 空载真空度：≤5×10-4Pa（空载）

3、 工作真空度：≤1.3×10-3Pa（负载）

4、 降压速率：常压→1.3×10-3Pa≤90min

5、 泄漏率：≤1×10-8Pa·m3/s

6、 压力恢复速率：≤10KPa/min

C.    

温度指标

1、 提供热沉+电热鼠笼结构，即可提供环境温度控制能力；

2、 制冷模式：压缩机复叠制冷系统+液氮辅助制冷系统

3、 热沉可控制温度范围：

1)   机械制冷+鼠笼加热：可满足-70℃～+130℃；

2)   液氮制冷：-70℃～-130℃；

4、 控温精度：

1)   -70℃～+130℃范围内：≤±1℃；

2)   -70℃～-130℃范围内：≤±5℃；

5、 热沉温度均匀度：≤±3℃（稳态测试）；

6、 热沉升降温速率：

1)   -70℃～+130℃范围内：≥2℃/min；

2)   -70℃～-130℃范围内：≥0.5℃/min；

D.    

设备噪音

小于75分贝

E.    

设备总装机容量

设备总装机功率：～26.5KW，其中

1、 旋片泵：2.2KW*1台

2、 罗茨泵：1.1KW*1台

3、 低温泵：5.0KW*1台

4、 加热器：9.0KW

5、 制冷机组：6HP*2台

6、 照明：40W