特点和优势

TM D9650 C-SAM®

超声波显微镜的现代标准

® 精准的C-SAM 检测并具有最大的灵活性

D9650是现代超声波显微镜(AM)的标准，和上一代产品一样提供了较好的精度和稳健性，增加了一个合并

TM 了PolyGate 技术和Sonolytics 的改进型的电子与软件平台。D9650适用于故障分析、工艺开发、材料特

性描述及低容量生产环境。

TM

Sonoscan的定量B-Scan分析模式(Q-BAM)为PEM提供

了虚拟横截面视图，并且能保留并显示图像数据的幅值及极性

TM 带有Multi-Gate 及Probing-Gate 功能的PolyGate 技术

可以进行单一及多层自动聚焦成像

每频道多达100个Gates

TM Windows 10 Sonolytics 2 界面，64字节处理能力

线性马达扫描仪可扫描JEDEC托盘

带有塔式安装扫描参考平台及样品定位架，更加精准

方便使用扫描区域使安装、拆卸更加方便，可以扫描JEDEC

托盘或300mm晶圆片

定量的B-Scan是Sonoscan分析模式(Q-BAM)

B-Scan模式提供了虚拟横截面视图，并带有准确的极性、幅值和深度数据

TM TM

®