七星华创D07系列气体流量计
D07-9是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-9产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。

 七星华创D07系列气体流量计优势
• 中流量型
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 分流器不易堵塞
• 采用DB15型电插头，标准机械接头

 2. 用途和特点 质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量；质 量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为 MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和 控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、、环保和真 空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。 D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、 稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任 意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。 D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用,