DST2-TG 磁控管台式溅射镀膜机是一种高精度半/全自动真空镀膜系统，配备一个大腔室（直径 300 毫米）和两个直径为 2 英寸的水冷阴极，使其适用于长时间沉积。该系统是用于溅射、碳纤维和金属蒸发的单一平台。磁控管台式溅射镀膜机可以溅射半导体、电介质和金属靶材。溅射阴极和热蒸发舟可以一起安装或互换安装，总共有三个沉积源可用。利用碳纤维也可以实现碳沉积。

DST2-TGB 手套箱溅射和热蒸发

• 溅射镀膜机和热蒸发器的组合，用于手套箱安装

• 内置涡轮分子泵

• 大腔室：直径 30 厘米，高。20-25 厘米

• 简单快速的目标安装：无需目标支架

• 利用带背板的目标增强热传导

• 旋转样品架

• 安装在手套箱上的KF40馈入件，用于电源（直流、射频、大电流）、真空泵软管、水冷和氩气/反应气体连接以及电气连接。

• 通过 MFC 进行气体注入控制

• 双精度石英晶体厚度传感器

• Vac Coat 产品在全球范围内由公共和产品责任保险承保，以防 Vac Coat 系统造成任何财产损失或人身伤害。