波兰 PREVAC 原子力显微镜分析系统 超真空

波兰 PREVAC 原子力显微镜分析系统 超真空 AFM System [project 539]

UHV-HP AFM 平台是一种特别的原子力显微镜分析系统，可在宽压力范围内工作。它专注于高度灵活的样品环境，专用于气固界面的前沿研究。该系统配备了快速进入装载锁和准备室。

• AFM 室– 由不锈钢制成，带有不同尺寸的连接法兰，用于当前和其他设备。工作压力范围从1 atm 到 UHV（在 150 ºC 烘烤后），

• 用于 AFM 模块的特殊滑轨，以方便对显微镜的维修，
  

• 装载锁定室允许装载和存储多达 4 个旗形样品架和 4 个悬臂，

• 带有 4 轴机械手的两级制备室（带有集成的石英天平和高达 1000 °C 的加热可能性），

• 配备电子束蒸发器 EBV 40A1和离子源 IS 40C1 的制备室，用于样品表面清洁，

• 特殊设计的泵送系统– 前真空和涡轮分子泵的隔振，

• 沉积速率测量系统TMC13和样品加热电源HEAT3-PS控制和稳定样品温度，

• 整个泵送和加气系统由PLC控制器控制，

• 用户友好的线性传输系统。

AES ARPES EA15 EA15-HP50 IS 40C1 IS 40E1 ISS Kerr效应 MBE MBE Chamber MBE腔室 Prevac PREVAC 离子源 TPD/TDS UHV特高压多室分析系统 UHV表面科学分析系统 UPS UVS 40A2 XPS（ESCA） X 射线源 光电子能谱仪 光电子能谱测量仪 半球分析仪 半球能量分析仪 原子力显微镜 原子力显微镜分析 原子力显微镜分析系统 多层薄膜的原位实时磁光Kerr效应 无油真空泵 残留气体分析仪 真空光谱仪 真空室 真空油泵 真空泵 真空泵系统 真空测控装置 真空能量分析 真空能量分析光谱 真空腔 真空表面分析系统 离子源 表面分析系统 超薄磁性薄膜 高压光发射光谱特高压系统 高真空泵