PREVAC 傅里叶变换红外光谱统

PREVAC FTIR光谱系统专为红外光谱研究而设计。PREVAC FTIR光谱系统配备了精密的样品定位机制、观察窗口以及未来设备的备用端口。PREVAC FTIR光谱系统包括玻璃端口，并且已为与布鲁克光谱公司（Bruker Optics Inc.）的红外光谱仪配合使用做好了准备。根据需要，也可以与其他市售光谱仪进行接口连接。

PREVAC 傅里叶变换红外光谱统

PREVAC FTIR光谱系统技术特征：

UHV-HP 平台用于傅里叶变换红外光谱（FTIR）
液氮（LN2）或液氦（LHe）冷却解决方案
红外透射和反射模式
透射模式下可选配 DRIFT、ATR、RAIRS 功能
具有差分抽气的KBr观察窗口
针对布鲁克光谱公司（Bruker Optics Inc.）的红外光谱仪进行优化（根据需要，也可以与其他市售光谱仪进行接口连接）
独立的光谱仪框架，易于断开连接
模块化框架，准备扩展

PREVAC FTIR光谱系统可选组件：
TDS 热解吸光谱
IS40C1 清洗离子源
气体加注系统
宽范围压力调节系统（1 mbar – 10^-10 mbar）

PREVAC 磁控溅射系统 032 PRIMS basic MS system是一款使用简单但功能齐全的溅射沉积单元，用于可重复的薄膜层应用。即插即用紧凑型设计。

磁控溅射系统 032 PRIMS basic MS system工艺室包含3个用于磁控溅射源（用于金属和无机物）的端口，安装在向下溅射配置中。最多同时使用两个源（共沉积）衬底台适用于直径不超过2英寸的样品，可选择加热和旋转。

快速泵送系统（带手动节流阀）与小体积的工艺室相结合，使您能够在短时间内达到基本压力。工艺室配有高压标准的连接法兰，用于连接当前和未来的设备，包括：
多达3个磁控管源2“，
基板操纵器，
泵送系统，
防止交叉污染的防护罩，
石英天平，
视口–带快门的观察窗口，
真空计，
高温计

磁控溅射系统 032 PRIMS basic MS system主要特征：

插头和工作结构
易于使用的移动单元，用于快速测试和溅射涂层
带有大型真空门的处理室，便于更换目标或基板
配备MS2 100 ISO-K磁控管电源和新型M600DC-PS电源
用于直径不超过2〃样品的衬底台
工艺室直径：dst 355 mm
用于2英寸磁控管源的3个端口
1个视口-带快门的观察窗口
防止交叉污染的防护罩
基本压力范围10-7毫巴
带真空计的快速泵送系统
Ar气体质量流量控制自动加药
车轮上的刚性主框架使系统易于放置
手动节流阀