测厚仪的校正工具有很多，不同的工具配合不同的校正方法。可以先利用自身各种按钮，进行校正。

1、测量调零板，需要做到三次以上的测量，并且是连续地去做。看看测量的数量是否在一个稳定的范围内，尽量不要相差甚远。

2、如果发现它稳定以后，我们就可以按住膜厚测量仪并且与调零按钮接触，一直按着不松开。

3、接着别利用另一只手，轻轻地按住按钮，再松开。如果听到了响声，意味着有数据，再把仪器拿开，我们会发现，可能会出现第二次的响声，这时候，会显示为零。

4、这样的调试就是成功了。

如果，在这个校正过程当中，却发现屏幕所显示的并不是零，那就意味着我们需要利用其它的工具来对它进行一个校正：利用标准检验片来对膜厚测量仪进行校正。

1、先是把带有一个标准数值的标准片放在零板上，测量标准片。按照平常操作仪器的方法正常使用测厚仪，观看仪器屏幕上的数值。

2、一般来说，发现数值是与标准片上所标数值一致，或者是误差是在正负1微米的，仪器都是可以正常使用的。

3、否则，就是不正常。对于不正常的仪器，则需要利用仪器的调零按钮来进行调整。直到屏幕数据与标准片所标数据一致。

4、在校正的过程当中，有一些小细节是需要注意。比如，在调零校正的时候，发现屏幕显示为零，再多按一次，却变成中外一个数据，那是正常情况。

5、而在利用标准片校正膜厚测量仪时，需要多作几次的数据记录，确保避免出现偏差，而是认为仪器的不正常。