1. 污垢中的无极成分或处理后的灰分会残留在物体表面，因此需要采用相应的办法进一步清除，如加装真空除尘或与超声波干洗配套使用。

2.处理时，当清洗对象表面与照射光源距离稍远时，产生的臭氧会自动分解失去作用，一定要注意清洗表面与光源的距离，也就是注意平台或传送带上工件的高度或厚度。

3.这种处理方法要求紫外线能透过清洗对象表面，对有立体结构的清洗对象不太适合，只能清洗表面结构的物体。

4.由于需防止臭氧扩散对人体造成损害，需要在封闭装置中进行清洗。

5.由于臭氧是通过氧化反应去除污垢的，所以容易被氧化的表面不能用这种方法处理。