红外光非接触式测厚仪的检测优势

红外线可以穿过某些物质。
这是一种利用此特性在不接触的情况下测量特定材料厚度的技术。

由于电子设备中使用的硅、蓝宝石、水晶和其他化合物的表面都经过高精度抛光，因此不能使用基于接触的厚度测量，因为它会划伤它们。
此外，由于材料会变形，因此无法通过接触法准确测量橡胶、薄膜、软树脂等的厚度。

激光和电容是非接触式厚度测量的常用方法，但这些是位移计，不能测量绝对值。我们的红外光法可以测量绝对值。

红外光测厚原理

当红外光投射到工件上时，它首先被表面反射。
此外，红外光透过工件内部并在背面反射。
正反两面反射的光被光学探头接收，利用正反两面反射光的时间差作为光干涉差来测量厚度。

允许对多层进行单独的厚度测量

基于此原理，在如上图所示的多层工件的情况下，可以从各个反射光的干涉差来测量单个厚度。

以上是PC上显示反射光干涉状态的界面。
从波形的左边看，它变成了R1到R4的干扰波。每个干涉差（Peak to Peak）是每一层的厚度。

绝对值测量的*性

《相对值测量》

位移计是一种相对值测量，它测量距离的差异作为厚度。因此，必须准备一个参考平面（零点）。
此外，如果到参考表面的距离 (Gs) 不是恒定的，则会出现错误。如果无法维持或随时间变化，则每次执行测量时都需要进行零点复位。

《绝对值测量》

红外光测量是通过前后表面反射光的干涉差获得的，因此只需将工件放在传感器头下方即可测量绝对厚度。
即使到工件的距离（Ga）有一定波动，如果范围小于最大测量厚度（约4mm）-工件厚度（t），测量值和精度不会受到影响。

  

测量距离的*性

为了用位移计达到0.1μm的精度，传感器头到工件的距离一般必须在10mm以下。
采用这种红外光法，测量距离可任意设置，最大可达1000mm左右，可保持0.1μm的测量精度。