用于太阳能电池等各种制造设备的压力监测用压力计CCMT-D系列介绍
时间：2024-11-12 阅读：60
用于太阳能电池等各种制造设备的压力监测用压力计CCMT-D系列介绍
CCMT-D系列是电容式压力计，其陶瓷膜片因气压变化而变形，并通过电容的变化来检测压力。传感器部分采用陶瓷制成的一体化结构，因此具有优异的再现性和稳定性，无论何种气体（绝对压力表），都可以精确测量低真空和中真空区域的压力。
目的
用于薄膜沉积设备过程中的压力监测
用于真空熔炼、真空热处理炉等真空排气系统的压力监测。
用于太阳能电池等各种制造设备的压力监测
特征
长期稳定
由于使用陶瓷膜，具有优异的耐腐蚀性
内置温度补偿电路型
新采用的结构可保护传感器免受污垢影响
可通过按钮进行零点调整
规格
| 模型 | CCMT-D | ||
| 测量 满量程 | CCMT-1000D | 133kPa 满量程 | |
| CCMT-100D | 13.3kPa满量程 | ||
| CCMT-10D | 1.33kPa满量程 | ||
| CCMT-1D | 133Pa 满量程 | ||
| 解决 | 整个案例为 0.003% | ||
| 准确度*1 | ±0.2%示值 ±温度系数 | ||
| 温度系数 | 零电压 | 0.005%FS/℃ | |
| 量程电压 | 0.01% R/℃ | ||
| 工作温度范围 | 10~50℃ | ||
| 响应速度 | 30毫秒或更短 | ||
| 气体接触材料 | Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3 | ||
| 输入功率 | DC14~30V，1W | ||
| 输出 | 直流0~10VF.S | ||
| 大量的 | 329g（直径12.7/标准型） | ||
| 外形尺寸 | 直径55mm x 117mm（直径12.7mm，标准型） | ||
| 配件 | 标准：直径12.7管材 选项：NW16KF、Cajon 8VCR | ||
| 温度补偿 | 内置温度补偿电路 | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub 15 针公头 | ||
| *1：打开电源2小时后，工作环境温度为25℃。 |
| *2：18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe |
| *3：28%镍、23%钴、49%铁 |