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特征
应用/结果示例
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基本规格
阴极 | φ2英寸/平板型电极 |
溅射靶 | 包含金靶 |
气体导入机制 | 针阀 |
间歇功能 | 标配 |
真空泵 | 直连式旋转泵:20l / min(带自动泄漏) |
箱体尺寸 | 内径φ90mmx D90mm(SUS制) |
样品交换方法 | 前门开合式 |
尺寸(宽/深/高) | 主体:160/326 / 286mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身体:10公斤RP:9公斤 |